Micron - 7

Компания Изовак рада Вам представить кварцевый измеритель толщины пленок "Микрон-7". Принцип работы основан на измерении ухода резонансной частоты кварцевого датчика в зависимости от осажденного на нем слоя материала. Ситема позволяет с точностью до 1 ангстрема измерять толщину наносимых в вакууме покрытий.

Применение:

• Нанесение покрытий в микроэлектронике;
• Нанесение покрытий в акустооптоэлектронике;
• Контроль тонких оптических покрытий, в том числе и при реактивном нанесении (до 50 нм);
• Контроль нанесения дорогостоящих материалов (AU, Au:Ge, Ag и.т.п.).

 Достоинства:

• Высокая разрешающая способность. Для пленок оксида тантала разрешающая способность по измерению толщины составляет 1 ангстрем.
• Надежность. Прибор имеет гальванические развязки по цепям питания и сигнальным шинам с изоляцией до 2500 В.
• Интеграция в системы управления технологическим процессом. Прибор вырабатывает сигнал остановки напыления по достижению заданной толщины пленки. Кроме того, прибор выдает данные об измерении по последовательному интерфейсу RS-232 и RS-485.
• Широкая номенклатура кварцевых пластин. Прибор может работать с кварцевыми пластинами, имеющими резонансные частоты от 4 до 10 МГц.
• Компактность. Прибор выпускается в корпусе стандарта МЭК 297 высотой 3U.

 

Новые возможности Микрон 7:

• имеет одновременно два интерфейса управления RS 232 и RS 485;
• позволяет выдавать сигнал управления для 2-х шторок защиты кварцевой головки;
• усовершенствованный алгоритм подачи сигнала остановки процесса, по достижению заданной толщины покрытия;
• новая панель управления.

Список продукции