IBSS
Ионный источник распыления
Назначение ионного источника
Технология ионно-лучевого распыления IBSS предназначена для нанесения прецизионных многослойных покрытий с высокой плотностью и низкой шероховатостью.
Отличительными достоинствами технологии IBSS является получение покрытий без эффекта дрейфа во времени при воздействии атмосферы и различных климатических условий, что является одним из важнейших требований к современным оптическим и функциональным покрытиям.
Дополнительными преимуществами технологии IBSS являются возможность проведения реактивных и нереактивных процессов в одной камере без переналадки (например, из мишени Si можно получать покрытия Si, SiO2, Si3N4), а также нанесение покрытий на термочувствительные подложки (пластики и т.д.).
Система комплектуется блоками питания серии IPS-I и IPS-C2.
Области применения ионного источника:
- Тонкопленочная инкапсуляция дисплеев (OLED)
- Прецизионные узкополосные фильтры видимом и ИК диапазонах
- Лазерные покрытия (зеркала, просветление, фильтры)
Обладая более чем 20-ти летним опытом разработки и производства ионных источников различного назначения, компания Изовак помогает своим партнерам находить решения для наиболее требовательных задач.
Список продукции

