Двойные двусторонние магнетроны
В таблице приведены типовые характеристики магнетронов, изготавливаемых ООО Изовак.
|
Технические характеристики IzoMag DMSS (R-2) 500 (640х70х6) |
|
|
Максимальная мощность, кВт |
6,0 |
|
Тип питания |
AC or DC |
|
Рабочее давление, Па(х10 -3 Torr) |
0,5…1 (3,75…7,5) |
|
Количество мишеней |
4 |
|
Размер мишени, мм |
640´70´6 |
|
Тип крепления мишени |
планками |
|
Охлаждение мишени |
косвенное, водой |
|
Расход охлаждающей жидкости |
<6 л/мин, 2..4bar, 18° |
|
Габаритные размеры, мм |
900х460х140 |
|
Вес, кг |
60 |
|
Технические характеристики IzoMag DMSS (R-2) 1200 (1500х200х10) |
|
|
Максимальная мощность, кВт |
15,0 |
|
Тип питания |
AC or DC |
|
Рабочее давление, Па(х10 -3 Torr) |
0,5…1 (3,75…7,5) |
|
Количество мишеней |
4 |
|
Размер мишени, мм |
1500х200х10 |
|
Тип крепления мишени |
планками или на медной подложке |
|
Охлаждение мишени |
косвенное или прямое, водой |
|
Расход охлаждающей жидкости |
<15 л/мин, 2..4bar, 18° |
|
Габаритные размеры, мм |
1910х810х560 |
|
Вес, кг |
800 |



