Invisio S
Применение
- Контроль процесса напыления четвертьволновых и неравнотолщинных покрытий
- Мониторинг и управление процессом нанесения покрытий в вакуумных напылительных установках
Напыление многослойных неравнотолщинных оптических покрытий теперь может быть проведено с более высокой точностью и повторяемостью, благодаря системе спектрального оптического контроля Invisio S. Данная система позволяет наблюдать изменение всего спектра растущего покрытия непосредственно при напылении, а также осуществлять послойную корректировку покрытия.
Типы контролируемых покрытий
-
Оптические фильтры
-
Спектроделители
-
Лазерные покрытия
-
Зеркала
-
ИК-покрытия
-
Другие многослойные оптические покрытия УФ, видимого, ближнего ИК диапазонов
Достоинства
-
Адаптивность системы оптического контроля Invisio S к любым вакуумным установкам
Оптическая система основана на модульном принципе с применением световодов, что позволяет монтировать ее в любой вакуумной установке независимо от ее конфигурации.
-
Высокое быстродействие
В качестве устройств регистрации используются спектрометры на быстродействующих малошумящих КМОП-линейках. Минимально возможное время измерения всего спектра составляет всего 2 миллисекунды. Это дает возможность получать всю спектральную характеристику в процессе напыления покрытия с минимальными задержками измерений.
-
Модулированный источник света
Обеспечивает повышенную точность и стабильность измерений. Исключает влияние окружающих засветок на результаты измерений.
-
Автоматический контроль
Серия Invisio S может работать в составе общей системы управления технологическим процессом напыления и позволяет оператору останавливать процесс при достижении заданных параметров спектра покрытия.
-
Компактность
Все компоненты системы отличаются малыми габаритами и весом, что позволяет монтировать их на камерах малых размеров и в труднодоступных местах.
-
Гибкость в выборе спектрального диапазона
Реализация системы в виде отдельных модулей позволяет выбирать необходимый спектральный диапазон для решения конкретных задач. Максимально возможный диапазон составляет 200-1700 нм.
Список продукции