Пленки
В таблице приведен перечень материалов, которые могут быть напылены с использованием оборудования ООО Изовак, и наиболее востребован Заказчиками.
Данный перечень не отражает весь технический потенциал компании.
|
|
Ионно-лучевое напыление |
Электронно-лучевое распыление |
Магнетронное напыление |
|
Металлы |
|
|
|
|
Al |
|
|
|
| Ti, Ti-Al |
|
|
|
|
Cr |
|
|
|
|
Ni |
|
|
|
|
Cu |
|
|
|
|
Zn |
|
|
|
|
Zr |
|
|
|
|
Nb |
|
|
|
|
Mo |
|
|
|
|
Ag |
|
|
|
|
In |
|
|
|
|
Ta |
|
|
|
|
Оксиды |
|
|
|
|
Al2O3 |
|
|
|
|
SiO2 |
|
|
|
|
TiO2 |
|
|
|
|
ZnO, ZnO-Al |
|
|
|
|
GeO |
|
|
|
|
ZrO2 |
|
|
|
|
Nb2O5 |
|
|
|
|
In2O5 |
|
|
|
|
HfO2 |
|
|
|
|
Ta2O5 |
|
|
|
|
Нитриды |
|
|
|
|
SiN |
|
|
|
|
GeN |
|
|
|
|
Полупроводник |
|
|
|
|
Si, Si-Al |
|
|
|
|
Ge |
|
|
|
