IzoLine Aurora
Компанией Изовак разработано несколько модификаций оборудования для нанесения:
- двустороннего диэлектрического защитного покрытия
- двустороннего токопроводящего ITO покрытия
- двустороннего нанесения металлов
Основные области применения оборудования:
Новая серия линейных вертикальных напылительных установок IzoLine AURORA обеспечивает напыление покрытий на подложки из стекла с высокой производительностью.
Основные характеристики:
- Линейная система с вертикальной организацией напыления
- Зона напыления поколение G5+ 1150х1350 мм
- Возможность работы с органическими масками
- Загрузка-выгрузка подложек в одной точке чистой комнаты, отсутствие необходимости в возвратном конвейере
- Использование турбомолекулярной откачки для снижения времени обслуживания и снижения сроков запусков системы.
- Одно или двухстороннее нанесение пленок за один проход ( в зависимости от конфигурации системы)
- Транспортная система организована днище камеры с отсутствием трущихся частей в зоне напыления, что позволяет организовать бездефектное напыление за счет низкой генерации частиц
- Организация симметричной откачки зоны напыления для гарантированной равномерности напыления
- Организация движений кареток без зазора в зоне напыления для эффективного использования распыляемых мишеней
- Система управления реактивным распылением для высокоскоростного распыления
- Инфракрасный нагрев подложек
- Время цикла от 35 секунд – в зависимости от технологического процесса.
