Ortus
Назначение:
-
Многослойные оптические покрытия, в том числе лазернопрочные для видимого, УФ и ИК диапазонов
Компания Изовак представляет новейшую серию вакуумных напылительных установок Ortus с электронно-лучевыми и резистивными испарителями. Данная серия является новым поколением отечественного вакуумного оборудования для получения высококачественных оптических покрытий. Широкий выбор вариантов комплектации оборудования позволяет максимально гибко подобрать требуемую конфигурацию установки для решения конкретных задач заказчика.
Отличительные особенности
-
Полная автоматизация;
-
Повышенное качество покрытий по сравнению с аналогами ввиду применения метода ионного ассистирования;
-
Применение метода ионного ассистирования позволяет повысить качество покрытий, а также осуществлять безнагревное нанесение покрытий, например, на полимеры и нетермостойкие оптические кристаллы;
-
Высокое качество изготовления и комплектации;
-
Конкурентноспособная цена;
-
Верхний привод вращения арматуры;
-
Встроенные системы кварцевого и оптического контроля толщины и скорости напыления с удобным отображением результатов;
- Гарантия 18 месяцев, полный спектр технической поддержки
Примеры наносимых покрытий:
MgF2, SiOX, ZnS, Ta2O5, и т.д.
Технические характеристики
|
Параметры, характеристики |
Величина |
|
1. Диаметр вакуумной камеры, мм |
700 |
|
2. Предельное остаточное давление в чистой камере без оснастки, не выше, Па |
8 х10-4 |
|
3. Время достижения предельного остаточного давления, не более, мин |
60 |
|
4. Время достижения давления 1 х 10-3 Па (без прогрева) в чистой камере с начала высоковакуумной откачки, не более, минут |
15 |
|
5. Натекание в камеру в течение 10 часов, не более, л Па/с |
1 х 102 |
|
6. Контролируемый диапазон рабочего давления в камере при напуске технологического газа, Па |
1 х 10-2 - 8 х 10-2 |
|
7. Контролируемый диапазон температуры прогрева рабочего объема камеры в зоне подколпачной арматуры, оС |
0-300 |
|
8. Количество ЭЛИ, шт |
1 |
|
9. Количество ИИ ассистирования, шт |
1 |
|
10. Количество резистивных испарителей, шт |
2 |
|
11. Плавная (инверторная) регулировка скорости вращения карусели, об/мин |
от 0 до 30 |
|
12. Неравномерность покрытий по толщине для всей сферической поверхности куполообразного подложкодержателя не должна превышать, % |
+/-2 |
|
13. Неравномерность покрытия по толщине для арматуры планетарного типа не должна превышать, % |
+/-1,5 |
|
14. Масса, не более, кг, |
2000 |
|
15. Потребляемая мощность, не более, кВт, |
35 |
Компания Изовак предлагает вакуумную установку Ortus с модернизироваными системами откачки, нагрева, с добавленным комбинированным узлом свидетелей. С полным списком последних улучшений вакуумной установки Ortus Вы можете ознакомиться, посмотрев презентацию Вакуумная установка Ortus.
Список продукции