Plasma Scan 500

Новая вакуумная установка Plasma Scan 500 специально спроектирована для проведения широкого спектра исследовательских работ в оптике и микроэлектронике. Большой выбор напыляемых материалов, возможность создания многослойных сверхточных покрытий в автоматическом режиме и небольшие габаритные размеры делают вакуумную установку Plasms Scan 500 Вашим аргументированным выбором

Основные области применения:

• производство покрытий для плоских дисплеев;
• напыление лазерных элементов;
• функциональные покрытия;
• производство диэлектрических фильтров и зеркал;
• научно-исследовательские работы.

Отличительные достоинства:

• Легкое и быстрое проведение технологического процесса;
• Полная автоматизация технологических процессов;
• Процессы ионной очистки подложки и напыления покрытий организованы в одном цикле;
• Короткое время загрузки-выгрузки подложки, благодаря оригинальному дизайну шлюзовой камеры;
• Высокая равномерность однослойных и многослойных пленок (± 0,8%);
• Оптический и кварцевый контроль;
• Напыление на термочувствительные подложки;
• Возможность распыления до четырех различных материалов мишеней в одном цикле напыления с применением ионно-лучевой или магнетронной технологий распыления;
• Протоколирование (архивация) всех параметров работы установки.

Примеры наносимых покрытий:

ITO, SiOX, Cr, Al, Al₂O₃, Nb₂O₅, Ta₂O₅, TiO₂, CuO₂, MgO, SiXNY и т.д.

Список продукции